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美國JC Nabity電子束曝光系統(tǒng)(NPGS納米圖形發(fā)生器)
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產(chǎn)品詳情
基于SEM/FIB改裝的NPGS V9.2電子束曝光系統(tǒng)
1)NPGS以既有的SEM、STEM或FIB等為基礎(chǔ)，外加電子束控制系統(tǒng)，透過電腦界面控制電鏡中電子束的矢量掃描，以直接刻寫圖形。
2)NPGS系統(tǒng)兼具原SEM的觀測功能。不影響SEM本身功能。
3)功能強(qiáng)大、操作簡便、使用靈活。
4)NPGS和當(dāng)今主流的SEM或FIB等均可配套。
NPGS V9.2是一個(gè)可以控制掃描電鏡電子束的軟件程序?；陔婄R的電子束曝光簡單分為兩部分：刻寫設(shè)計(jì)和圖形運(yùn)行。刻寫設(shè)計(jì)是通過NPGS隨機(jī)提供的QCAD程序來做。此CAD程序已經(jīng)過修改，增加了用于電子束曝光的命令。圖形運(yùn)行包括設(shè)定參數(shù)，用于NPGS計(jì)算圖形上每個(gè)點(diǎn)的位置以及曝光時(shí)間。
NPGS硬件板卡：定制的微影板卡是基于一個(gè)計(jì)算機(jī)工作站內(nèi)部高速PCIe插槽安裝的。主要特點(diǎn)是：
1. 采用16位高速數(shù)模轉(zhuǎn)換輸出，X、Y雙通道同時(shí)輸出，同步掃描頻率5MHz，電子束駐留時(shí)間最小增量0.5納秒，且所有頻率下均能達(dá)到這個(gè)分辨率。
2. 刻寫掃描方式：矢量掃描方式和位圖掃描方式。
3. 集成的電子束閘控制輸出。
4. 圖像獲取采用集成的16位模數(shù)轉(zhuǎn)換輸入。
5. 基于PCIe插槽，安裝方便，運(yùn)行可靠。
電子束阻斷器(束閘)：電場型高速束閘。NPGS系統(tǒng)也支持無束閘運(yùn)行。
皮可安培計(jì)：基于SEM的電子束曝光系統(tǒng)需要一個(gè)皮安計(jì)，它和法拉第杯配合測量并可精確讀出轟擊樣品的電子束束流，精度達(dá)0.1pA。通常，需要從電鏡載物臺外接一個(gè)皮安計(jì)與樣品電流輸出相連。
電鏡束流：NPGS能可選連接控制法拉第杯和/或從皮可安培計(jì)讀數(shù)，但大多數(shù)用戶會采用手動(dòng)控制的法拉第杯和皮可安培計(jì)。
電鏡參數(shù)及電動(dòng)臺控制：免費(fèi)提供幾款通用的電鏡數(shù)字驅(qū)動(dòng)程序及載物臺驅(qū)動(dòng)程序。如果有串口通訊協(xié)議，本系統(tǒng)支持任何外部控制。
具有鋼結(jié)構(gòu)工程專業(yè)承包二級資質(zhì)、建筑工程施工總承包貳級資質(zhì)；公司主營產(chǎn)品包括重鋼、輕鋼、網(wǎng)架及檁條、彩鋼板等鋼結(jié)構(gòu)產(chǎn)品；近年來，公司承接了國內(nèi)外大型結(jié)構(gòu)件、橋梁、車庫、標(biāo)準(zhǔn)化廠房等具有較大影響力的一系列項(xiàng)目；產(chǎn)品遠(yuǎn)銷白俄羅斯、贊比亞、印尼等國家，得到了一致好評。
關(guān)鍵詞： 美國JC Nabity電子束曝光系統(tǒng)(NPGS納米圖形發(fā)生器)
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